Při výrobě polovodičů se z rafinovaného krystalického křemíku řežou destičky a na tento substrát se přidávají další vrstvy. Destičky jsou během výroby skladovány ve speciálních plastových kazetách v čistém prostředí a zpracovávány v mnoha procesních krocích. Protože se poptávka po polovodičích zvyšuje a bude zvyšovat, chtějí producenti automatizovat jejich výrobní proces. To platí nejen pro velkovýrobní linky.
Společnost KUKA představila řešení pro automatizovaný přenos a manipulaci s polovodičovými kazetami od jednoho dodavatele. Pracoviště se skládá ze standardizované autonomní mobilní jednotky (AGV) a osvědčeného kolaborativního robota KUKA LBR iiwa. Kromě toho byl také vyvinut speciální uchopovací systém pro tuto aplikaci včetně kompletního software.
Robotické řešení pro čisté prostory v polovodičovém průmyslu
Pohyblivost systému zajišťuje KUKA mobilní platforma KMR 200 CR. Plošina má speciální kola Mecanum, která umožňují všesměrový pohyb jednotky. Senzory snímají okolní prostředí v reálném čase, čímž řeší bezpečnost a zabraňují kolizím. Na platformě je nainstalován kolaborativní robot KUKA LBR iiwa, schopný přímé a bezpečné spolupráce s člověkem. Vysoká citlivost robota umožňuje spolehlivě a bez vibrací manipulovat s citlivými kazetami s polovodičovými destičkami. Třetí součástí řešení je speciální uchopovací hlavice, která byla patentována společností KUKA.
Software řídí mobilní robotickou flotilu
Hardware a také i software pro uvedenou robotickou aplikaci manipulace s křemíkovými wafers, jsou z dílny společnosti KUKA. Kvalitní softwarové řešení velmi přesně zapadá do moderního automatizovaného procesu při výrobě polovodičů. Integrovaný manažer flotily robotických mobilních jednotek řídí jednotlivé objednávky tak, aby zajistil optimálně automatizovanou výrobu polovodičů. Kompletní řešení je od jednoho dodavatele a je certifikováno. Důsledkem toho je velmi krátká doba uvedení zařízení do provozu, kvalitní servis a následné služby, díky čemuž je tento systém společnosti KUKA unikátním řešením v oblasti manipulace při výrobě polovodičů.
Více informací na: www.kuka.com
